RSM-nin texniki məsləhətçisi silindrik və planar maqnetron püskürtmə hədəflərinin üstünlüklərini sizinlə bölüşəcək?Digər maqnetron püskürtmə hədəfləri ilə müqayisədə, silindrik və planar maqnetron püskürtmə hədəfləri düzbucaqlı planar hədəflərin yaxşı örtülməsinin üstünlüklərini saxlayır və aşağıdakı iki yolla hədəflərin istifadəsini maksimum dərəcədə artıra bilər:
(1) Hədəfin səthindəki iki qrup (dörd) həlqəvi çuxur müəyyən bir dərinliyə çatdıqda, hədəf nüvəsi (maqnit hissəsi) hədəf boruya nisbətən 45 ° döndərilə bilər ki, hədəf borunun digər sahələri korroziyaya uğramamış istifadə edilə bilər;
(2) Silindrik və müstəvi maqnetron püskürtmə hədəfinin hədəf nüvəsi fırlanan hədəf nüvəsi kimi dizayn edildikdə (hədəf nüvəsi püskürtmə zamanı fırlanır), hədəfin səthi çuxurlar olmadan bərabər şəkildə təbəqə-lay püskürə bilər.Bu zaman hədəf ən effektiv şəkildə istifadə ediləcək və hədəfdən istifadə nisbəti 50% ~ 60% -ə çata bilər Hədəf material qiymətli metal olduqda, bu, açıq şəkildə böyük əhəmiyyət kəsb edir.
Son maqnit sahəsi problemini həll etmək üçün koaksial silindrik maqnetron püskürtmə hədəfində dirək ayaqqabısı ilə maqnit prinsipindən istifadə edərək, düzbucaqlı təyyarə hədəfi silindrik və planar maqnetron püskürtmə hədəfinə çevrilə bilər, hədəf hədəfdən istifadə nisbətini maksimuma çatdıra bilər. Düzbucaqlı təyyarə hədəfinin yaxşı örtüyünün vahidliyini qoruyarkən iqtisadi faydaları artırmaq üçün.
Göndərmə vaxtı: 04 iyul 2022-ci il