Bu yaxınlarda bir çox dost molibden püskürtmə hədəflərinin xüsusiyyətləri haqqında soruşdu.Elektron sənayesində püskürtmə səmərəliliyini artırmaq və çökdürülmüş filmlərin keyfiyyətini təmin etmək üçün molibden püskürtmə hədəflərinin xüsusiyyətlərinə hansı tələblər qoyulur?İndi RSM-in texniki ekspertləri bunu bizə izah edəcəklər.
1. Saflıq
Yüksək təmizlik molibden püskürtmə hədəfinin əsas xarakterik tələbidir.Molibden hədəfinin saflığı nə qədər yüksək olarsa, püskürən filmin performansı bir o qədər yaxşı olar.Ümumiyyətlə, molibden püskürtmə hədəfinin təmizliyi ən azı 99,95% olmalıdır (kütləvi pay, aşağıda eynidir).Bununla belə, LCD sənayesində şüşə substratın ölçüsünün davamlı olaraq təkmilləşdirilməsi ilə naqillərin uzunluğunun uzadılması və xəttin eninin daha incə olması tələb olunur.Filmin vahidliyini və naqillərin keyfiyyətini təmin etmək üçün molibden püskürtmə hədəfinin saflığının da müvafiq olaraq artırılması tələb olunur.Buna görə də, püskürən şüşə substratın ölçüsünə və istifadə mühitinə görə, molibden püskürtmə hədəfinin təmizliyi 99,99% - 99,999% və ya daha yüksək olmalıdır.
Molibden püskürtmə hədəfi püskürtmə zamanı katod mənbəyi kimi istifadə olunur.Qatı və məsamələrdəki oksigen və su buxarı çirkləri çökdürülmüş filmlərin əsas çirkləndirici mənbələridir.Bundan əlavə, elektron sənayedə qələvi metal ionları (Na, K) izolyasiya qatında mobil ionlara çevrilmək asan olduğundan, orijinal cihazın performansı azalır;Uran (U) və titan (TI) kimi elementlər α rentgen şüası buraxacaq, bu da cihazların yumşaq parçalanması ilə nəticələnəcək;Dəmir və nikel ionları interfeys sızmasına və oksigen elementlərinin artmasına səbəb olacaq.Buna görə də, molibden püskürtmə hədəfinin hazırlanması prosesində, hədəfdəki məzmununu minimuma endirmək üçün bu çirk elementlərinə ciddi şəkildə nəzarət edilməlidir.
2. Taxıl ölçüsü və ölçü bölgüsü
Ümumiyyətlə, molibden püskürtmə hədəfi polikristal quruluşdur və taxıl ölçüsü mikrondan millimetrə qədər dəyişə bilər.Eksperimental nəticələr göstərir ki, incə taxıl hədəfinin püskürtmə sürəti qaba taxıl hədəfindən daha sürətlidir;Kiçik taxıl ölçüsü fərqi olan hədəf üçün, çökdürülmüş filmin qalınlığının paylanması da daha vahiddir.
3. Kristal oriyentasiya
Püskürtmə zamanı hədəf atomları altıbucaqlı istiqamətdə atomların ən yaxın yerləşməsi istiqamətində üstünlüklə səpmək asan olduğundan, ən yüksək püskürtmə sürətinə nail olmaq üçün hədəfin kristal quruluşunu dəyişdirərək püskürtmə sürəti çox vaxt artırılır.Hədəfin kristal istiqaməti də püskürən filmin qalınlığının vahidliyinə böyük təsir göstərir.Buna görə də, filmin püskürtmə prosesi üçün müəyyən bir kristal yönümlü hədəf strukturunun əldə edilməsi çox vacibdir.
4. Sıxlaşma
Püskürtmə örtüyü prosesində aşağı sıxlıqlı püskürtmə hədəfi bombardman edildikdə, hədəfin daxili məsamələrində mövcud olan qaz qəfildən sərbəst buraxılır, nəticədə böyük ölçülü hədəf hissəcikləri və ya hissəciklər sıçrayır və ya film materialı bombalanır. film əmələ gəldikdən sonra ikincili elektronlar tərəfindən hissəciklərin sıçraması ilə nəticələnir.Bu hissəciklərin görünüşü filmin keyfiyyətini aşağı salacaq.Hədəf bərk cisimindəki məsamələri azaltmaq və film performansını yaxşılaşdırmaq üçün püskürtmə hədəfinin ümumiyyətlə yüksək sıxlığa malik olması tələb olunur.Molibden püskürtmə hədəfi üçün onun nisbi sıxlığı 98%-dən çox olmalıdır.
5. Hədəfin və şassinin bağlanması
Ümumiyyətlə, molibden püskürtmə hədəfi püskürtmədən əvvəl oksigensiz mis (yaxud alüminium və digər materiallar) şassi ilə birləşdirilməlidir ki, püskürtmə prosesi zamanı hədəfin və şassinin istilik keçiriciliyi yaxşı olsun.Bağlamadan sonra, ikisinin bir-birinə yapışmayan sahəsinin 2% -dən az olmasını təmin etmək üçün ultrasəs yoxlaması aparılmalıdır, belə ki, düşmədən yüksək güclü püskürtmə tələblərinə cavab verir.
Göndərmə vaxtı: 19 iyul 2022-ci il