Məlumatların saxlanması sənayesində istifadə olunan hədəf material yüksək təmizlik tələb edir və püskürtmə zamanı çirkli hissəciklərin yaranmasının qarşısını almaq üçün çirkləri və məsamələri minimuma endirmək lazımdır.Yüksək keyfiyyətli məhsullar üçün istifadə olunan hədəf material onun kristal hissəcik ölçüsünün kiçik və vahid olmasını və heç bir kristal oriyentasiyaya malik olmamasını tələb edir.Aşağıda, hədəf material üçün optik saxlama sənayesinin tələblərinə nəzər salaq?
1. Saflıq
Praktik tətbiqlərdə hədəf materialların təmizliyi müxtəlif sənaye və tələblərə görə dəyişir.Bununla belə, ümumilikdə, hədəf materialın təmizliyi nə qədər yüksək olarsa, püskürən filmin performansı bir o qədər yaxşı olar.Məsələn, optik saxlama sənayesində hədəf materialın təmizliyinin 3N5 və ya 4N-dən çox olması tələb olunur.
2. Natəmizlik tərkibi
Hədəf material püskürtmə zamanı katod mənbəyi kimi xidmət edir və bərk cisimdəki çirklər, məsamələrdəki oksigen və su buxarı nazik təbəqələrin yerləşdirilməsi üçün əsas çirklənmə mənbələridir.Bundan əlavə, müxtəlif istifadə hədəfləri üçün xüsusi tələblər var.Nümunə olaraq optik saxlama sənayesini götürsək, örtünün keyfiyyətini təmin etmək üçün püskürtmə hədəflərindəki çirklərin tərkibinə çox aşağı nəzarət edilməlidir.
3. Taxıl ölçüsü və ölçü bölgüsü
Adətən, hədəf material mikrometrdən millimetrə qədər olan taxıl ölçüləri ilə polikristal quruluşa malikdir.Eyni tərkibə malik hədəflər üçün incə dənəli hədəflərin püskürtmə sürəti qaba taxıllı hədəflərdən daha sürətli olur.Taxıl ölçüsü fərqləri daha kiçik olan hədəflər üçün qoyulmuş film qalınlığı da daha vahid olacaqdır.
4. Kompaktlıq
Bərk hədəf materialda məsaməliyi azaltmaq və film performansını yaxşılaşdırmaq üçün ümumiyyətlə püskürən hədəf materialın yüksək sıxlığa malik olması tələb olunur.Hədəf materialının sıxlığı əsasən hazırlıq prosesindən asılıdır.Ərimə və tökmə üsulu ilə istehsal edilən hədəf material, hədəf materialın içərisində heç bir məsamə olmamasını və sıxlığın çox yüksək olmasını təmin edə bilər.
Göndərmə vaxtı: 18 iyul 2023-cü il